AVALIAÇÃO DOS EFEITOS DE GETTERING POR FÓSFORO - Filomena, Gabriel Zottis; Moehlecke, Adriano; Zanesco, Izete; Marcolino, Juliane Bernardes (Anais Congresso Brasileiro de Energia Solar - CBENS, 2008)
Este trabalho apresenta avaliação da influência de três parâmetros fundamentais para obtenção de efeitos de “gettering” em Si-Cz por meio da difusão de fósforo a partir do oxicloreto de fósforo (POCl3). Os parâmetros são: a concentração de POCl3, o tempo e a temperatura do processo de difusão. Foram realizadas difusões com concentrações de 0,05 % e 0,17 % de POCl3, em temperaturas de 800 °C, 850 °C e 900 °C e com tempos de difusão de 15, 30 e 45 minutos. O tempo de vida dos portadores minoritários foi utilizado como parâmetro de comparação. Para ambas as concentrações os maiores valores de tempo de vida dos portadores minoritários foram observados para temperaturas mais altas e tempos mais longos, sendo que para 0,17 % mediram-se valores significativamente superiores aos encontrados para 0,05 %. Para as duas concentrações de dopante os processos que apresentaram os melhores resultados de “gettering” foram para a temperatura de 900 °C.